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大气机械手SRBJ1A-AS3491

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简介

introduction

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参数

parameter


规划情势Mechanical Structure柱坐标型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA
负载Payload称号name晶圆wafer
直径diameterΦ200mm/Φ300mm
分量weight≤0.5kg
自在度数DOF3
最大反转展转直径Maximum Swing diameter520mm

huodongguimo

Moving  Range
起落轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis330mm
反转展转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis330°
舒展轴 (R轴) Extension(Z)-AxisR736mm

zuidasulv

Maximum  Moving Speed
起落轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis330mm/s
反转展转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis360°
舒展轴 (R轴) Extension(Z)-Axis900mm/s

fanfudingweijingdu

Repeatability
起落轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis±0.1 mm(3σ)
反转展转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis±0.01°(3σ)
舒展轴 (R轴) Extension(Z)-Axis±0.1 mm(3σ)



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